DB-FIB

Với sự tiến bộ nhanh chóng của công nghệ điện tử bán dẫn và mạch tích hợp, độ phức tạp ngày càng tăng của cấu trúc thiết bị và mạch đã làm tăng nhu cầu về chẩn đoán quy trình chip vi điện tử, phân tích lỗi và chế tạo micro/nano.Hệ thống FIB-SEM chùm kép, với khả năng gia công chính xác và phân tích vi mô mạnh mẽ, đã trở nên không thể thiếu trong thiết kế và sản xuất vi điện tử.

Hệ thống FIB-SEM chùm képtích hợp cả Chùm ion hội tụ (FIB) và Kính hiển vi điện tử quét (SEM). Nó cho phép quan sát SEM thời gian thực các quy trình gia công vi mô dựa trên FIB, kết hợp độ phân giải không gian cao của chùm electron với khả năng xử lý vật liệu chính xác của chùm ion.