Phân tích và đánh giá cấu trúc vi mô của vật liệu bán dẫn
Giới thiệu dịch vụ
Với sự phát triển không ngừng của các mạch tích hợp quy mô lớn, quy trình sản xuất chip ngày càng trở nên phức tạp hơn, cấu trúc và thành phần vi mô bất thường của vật liệu bán dẫn cản trở việc cải thiện năng suất chip, điều này mang lại những thách thức lớn cho việc triển khai các chất bán dẫn và tích hợp mới. các công nghệ mạch.
GRGTEST cung cấp phân tích và đánh giá cấu trúc vi mô vật liệu bán dẫn toàn diện để giúp khách hàng cải thiện quy trình bán dẫn và mạch tích hợp, bao gồm chuẩn bị hồ sơ cấp độ wafer và phân tích điện tử, phân tích toàn diện các tính chất vật lý và hóa học của vật liệu liên quan đến sản xuất chất bán dẫn, xây dựng và thực hiện phân tích chất gây ô nhiễm vật liệu bán dẫn chương trình.
Phạm vi dịch vụ
Vật liệu bán dẫn, vật liệu phân tử nhỏ hữu cơ, vật liệu polyme, vật liệu lai hữu cơ/vô cơ, vật liệu phi kim loại vô cơ
Chương trình dịch vụ
1. Chuẩn bị hồ sơ cấp độ wafer chip và phân tích điện tử, dựa trên công nghệ chùm ion tập trung (DB-FIB), cắt chính xác khu vực cục bộ của chip và hình ảnh điện tử thời gian thực, có thể thu được cấu trúc, thành phần hồ sơ chip và khác thông tin quy trình quan trọng;
2. Phân tích toàn diện các tính chất vật lý và hóa học của vật liệu sản xuất chất bán dẫn, bao gồm vật liệu polymer hữu cơ, vật liệu phân tử nhỏ, phân tích thành phần vật liệu phi kim loại vô cơ, phân tích cấu trúc phân tử, v.v.;
3. Xây dựng và thực hiện kế hoạch phân tích chất gây ô nhiễm đối với vật liệu bán dẫn.Nó có thể giúp khách hàng hiểu đầy đủ các đặc tính vật lý và hóa học của các chất ô nhiễm, bao gồm: phân tích thành phần hóa học, phân tích hàm lượng thành phần, phân tích cấu trúc phân tử và phân tích các đặc tính vật lý và hóa học khác.
Hạng mục dịch vụ
| Dịch vụkiểu | Dịch vụmặt hàng |
| Phân tích thành phần nguyên tố của vật liệu bán dẫn | l Phân tích nguyên tố EDS, l Phân tích nguyên tố quang phổ quang điện tử tia X (XPS) |
| Phân tích cấu trúc phân tử của vật liệu bán dẫn | l Phân tích phổ hồng ngoại FT-IR, l Phân tích quang phổ nhiễu xạ tia X (XRD), l Phân tích cộng hưởng từ hạt nhân (H1NMR, C13NMR) |
| Phân tích cấu trúc vi mô của vật liệu bán dẫn | l Phân tích lát cắt chùm ion tập trung kép (DBFIB), l Kính hiển vi điện tử quét phát xạ trường (FESEM) được sử dụng để đo và quan sát hình thái vi mô, l Kính hiển vi lực nguyên tử (AFM) để quan sát hình thái bề mặt |
